半導體里需要用到石墨的導電性能,由于石墨含碳量越高,導電性能就會越好,一般需要考慮的指標有:粒度、耐熱性、純度、石墨化度。半導體制造中的許多工藝是在非常高的溫度和極具腐蝕性的環境中進行的,其制程必須在高溫潔凈無塵環境下作業,高純度石墨具有耐高溫、良好的導電導熱性、化學性能穩定等特性,成為半導體制造中關鍵的材料。
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